乌鲁木齐实验室专用高纯氮气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。 新疆超高纯实验室氮气在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
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